SDCOM

Orientação de cristal ultrarrápida e flexível em um pacote compacto

Capaz de medir cristais a partir de 1 mm de tamanho, o SDCOM usa o método de leitura azimutal para determinar com precisão a orientação completa da cela de cristais únicos em apenas uma rotação de medição, levando apenas alguns segundos. Adequado para pesquisa e controle de qualidade da produção, o versátil e acessível SDCOM se ajusta facilmente em uma grande variedade de etapas de processo de wafer e lingote e não requer resfriamento da água.

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Visão geral

A medição rápida e precisa da orientação de cristal nunca foi tão acessível: conheça o SDCOM, seu XRD compacto e fácil de usar. O método de leitura azimutal desbloqueia a medição ultrarrápida, com resultados retornados em menos de cinco segundos. 

O SDCOM oferece o mais alto nível de precisão de até 0,01o e, com uma grande variedade de suportes de amostras e dispositivos de transferência, incluindo uma opção de marcação para direção lateral do cristal, esse compacto fácil de usar é a solução ideal para muitas aplicações no processamento e pesquisa de wafer. 

Recursos e benefícios

Ultrarrápido e preciso: método de leitura azimutal

O método de leitura azimutal requer apenas um círculo de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, o que proporciona alta precisão a um tempo de medição muito baixo, no intervalo de alguns segundos.

A amostra é girada 360o, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta. Essas reflexões permitem que a orientação da cela do cristal seja medida em relação ao eixo de rotação com alta precisão em um curto período.

Ultrarrápido e preciso: método de leitura azimutal

Compacto e versátil

O SDCOM é leve e compacto, tornando-o facilmente móvel e capaz de caber facilmente em seu processo, seja na pesquisa ou na indústria. O software XRD Suite é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.

A flexibilidade é fundamental para o SDCOM, que é especialmente claro na variedade de materiais que pode medir. O SDCOM pode medir cristais a partir de 1 mm de tamanho, e exemplos de materiais mensuráveis incluem:

  • Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO

Há também uma variedade de suportes de amostra e dispositivos de transferência que podem expandir ainda mais as possibilidades das aplicações do seu SDCOM, garantindo a compatibilidade com o seu fluxo de trabalho. Também estão disponíveis estágios manuais e motorizados de mapeamento de wafer.

Compacto e versátil

Precisão com facilidade para o usuário

O SDCOM oferece excelente precisão de até 0,01o, dependendo da amostra, e é capaz de medir cristais que variam de 1 mm ou mais em tamanho. Essa precisão é mantida nas velocidades mais altas graças ao método de leitura azimutal, que fornece a caraterização completa da orientação do cristal em uma única rotação de medição. Há também uma opção para incluir uma função de marcação de direção lateral do cristal.

Graças ao manuseio manual e ao design de software intuitivo, o SDCOM é fácil de usar e acessível para uma variedade de tipos de usuários, prático em pesquisa e indústria, onde os níveis de experiência do usuário podem variar.

Precisão com facilidade para o usuário

Econômica

A ampola de raios X do SDCOM é refrigerada a ar, eliminando a necessidade de resfriamento a água. Graças à eficiência e ao pequeno impacto do SDCOM, seu consumo de energia é reduzido ao mínimo, além dos seus custos operacionais. 

Econômica

Principais aplicações

Marcação e medição das direções no plano
O SDCOM oferece medições de orientação de cristal ultrarrápidas e altamente precisas, ideais para uma variedade de aplicações na produção e processamento de wafers, incluindo a marcação e medição de direções no plano. Leve e portátil, ele pode ser implantado onde quer que você precise dele em seu processo. 
Capaz de medir pequenos cristais de até 1 mm com alta precisão e uma ampla variedade de materiais, o SDCOM está bem posicionado para oferecer suporte às necessidades complexas e em constante mudança da indústria de semicondutores.
Controle de qualidade da produção
O controle de processos de rotina exige velocidade, precisão e repetibilidade, e o SDCOM oferece tudo isso. Sua velocidade de medição ultraelevada dará um impulso à sua produtividade sem causar um grande impacto nos seus custos de funcionamento, graças ao formato desktop e à ampola de raios X refrigerada a ar.
Pesquisa de materiais
Capaz de medir uma versátil variedade de tipos de cristal com um pequeno impacto no laboratório, o SDCOM é ideal para fluxos de trabalho de pesquisa padrão. Os custos de funcionamento são reduzidos graças ao consumo de energia minimizado e a uma ampola de raios X refrigerada a ar, sem necessidade de resfriamento a água. 
O SDCOM também é acessível e fácil de operar com manuseio manual, tornando-se uma solução prática para laboratórios de pesquisa com muitos usuários diferentes.

Especificação

Fonte de raio X Ampola de raios X refrigerada a ar de 30 W, ânodo de Cu
Detectores Tecnologia de contador de cintilação
Suporte de amostra Mesa giratória precisa, precisão de ajuste de 0,01 °, suportes de amostra personalizados e dispositivos de transferência
Diâmetro da amostra Até 2 mm ø, até 200 mm
Temperatura ambiente ≤ 30 °C
Requisitos do PC Windows 10 ou mais recente. Atualização do .NET Framework, 2 portas Ethernet
Requisitos de energia De 100 a 230 V, monofásica, 500 W
Dimensões 600 mm (C) x 600 mm (L) x 840 mm (A)
Peso cerca de 100 kg
Certificação Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE
Todos os parâmetros técnicos estão sujeitos a alterações com base em P&D

Acessórios

Suportes de amostra

Uma variedade de suportes de amostra estão disponíveis para o SDCOM, permitindo que você processe amostras menores, maiores ou irregulares facilmente. 

Suportes de amostra

Dispositivos de transferência

Integre totalmente seu SDCOM ao seu processo adicionando acessórios de transferência dedicados, incluindo opções para a serra de fio, moagem e muito mais.

Dispositivos de transferência

Suporte

Serviços de suporte 

  • Suporte remoto e por telefone
  • Manutenção preventiva e verificações
  • Contrato de atendimento flexível ao cliente
  • Certificados de desempenho
  • Upgrades de hardware e software
  • Suporte local e global

Conhecimento

  • Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
  • Automação e consultoria
  • Treinamento e formação
Medições ultrarrápidas de orientação de cristal facilitadas

Medições ultrarrápidas de orientação de cristal facilitadas

Difração de raios X versátil, precisa e rápida em um formato compacto prático. Economia sem comprometer a qualidade.

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