Omega/Theta XRD

概要

Omega/Theta XRDは、変化しやすい半導体様相において結晶方位を決定するための信頼でき将来も使い続けることのできるパートナーです。市場をリードする精度、超高速測定速度、ハイエンドの製造品質が自動化機能と組み合わされて、プロセスがあらゆる状況に対応できるようになります。Omega/Theta XRDは、結晶方位と配列に対して比類のない効率と精度を提供し、生産用途と研究用途の両方に最適です。

特長と利点

独自のスキャン技術による超高速精度

当社の方法では、試料の一回転だけ方位を完全に決定するために必要なデータをすべて収集できます。これにより、数秒という非常に短い測定時間で高精度を実現できます。

進化した接続性と自動測定のための簡単なインターフェース

Omega/Theta XRDのすべての測定は自動化されており、使いやすいXRDソフトウェアで管理されます。この装置は、さまざまなMES、SECS/GEM、および同様のインターフェースを使用して、生産環境の既存のプロセスに簡単に統合できます。

さまざまな材料の特性評価

Omega/Theta XRDは、すべての単結晶材料の特性評価に使用できます。一般的に使用される材料は次のとおりです。

Si
Ge
SiC
AIN
GaN
GaAs
Quartz
LiNbO₃
CdTe
BBO

便利で柔軟なサンプル処理

当社の幅広いアクセサリは、シードボーリングから研磨、スライス、ウェハ形状の端部制御に至るまで、幅広い用途でOmega/Theta XRDの生産性を向上させ、時間の経過とともにニーズが変化しても柔軟に対応します。次のような拡張機能があります。

ユーザー定義のグリッド上に結晶方位や表面の歪みをマッピングするため自動X-Yマッピングステージ
ソーイング前にインゴットを整列させるスタッキングステージ
品質測定用ロッキングカーブツール
追加のサンプル回転軸
写真用カメラと画像処理
サンプル形状測定用レーザースキャナ
サンプル調整装置
さらに多くのカスタムエンジニアリングソリューションが用意されています。

Omega/Theta XRDは、大規模なインゴットから小さなシリンダーまで、あらゆるニーズに対応するようにカスタマイズされた試料ホルダを備えており、幅広いサンプルサイズに対応し、研究と同様に生産ワークフローでも簡単に使用できます。

主な用途

製造: Omega/Theta XRDは、製造業者向けに設計されました。製造中のさまざまな種類の結晶の超高速の方位付けとアライメント、面内方向のマーキング、フラットやノッチの方向の確認に最適です。また、高スループットと自動化機能により、製品品質管理にも最適です。; ソーイング前にインゴットを位置合わせするためのスタッキングステージや、品質測定用のロッキングカーブツールなどのオプションの追加機能により、Omega/Theta XRDは生産用途に適した汎用性の高いパートナーになります。

材料研究: Omega/Theta XRDの高精度と柔軟性は、材料研究に最適で、最大重量30 kg、最大長450 mmまでのさまざまなサンプルに対応でき、より大きなサンプルや複雑なサンプルにも対応できる追加のステージも用意されています。; さまざまな材料の特性を評価できるため、研究開発プロセスにとって非常に価値があり、柔軟性の高いTheta Scanは測定の可能性を広げます。

仕様

技術仕様
X線源	標準X線管、Cuアノード
検出器	シンチレーションカウンター(シングルまたはダブル)
試料ホルダ	サンプル調整用の精密ターンテーブル、取り付けプレート、ツール
結晶コリメータ	空き領域
マッピング	強固なマッピングステージが利用可能
ソフトウェア	XRDStudio
水冷	流量 – 4L/分、最大圧力8 bar、T≤30 °C
PCワークステーション	Windows 7以降、.NET Frameworkの更新
寸法	H 1950 mm × D 820 mm × W 1200 mm
重量	ca、650 kg
電源要件	208～240 V、16 A単相、50～60 Hz
認証	ISO 9001ガイドラインに基づいて製造、CE準拠