A difração de raios X de alta resolução é uma ferramenta avançada para a análise estrutural não destrutiva das camadas epitaxiais, das heteroestruturas e dos sistemas de supercela.
Trata-se de uma ferramenta padrão usada na produção industrial, bem como durante a fase de desenvolvimento de estruturas crescidas epitaxiais.
Padrões de dados de difração
Muitas informações importantes podem ser obtidas a partir dos padrões de difração, incluindo:
- composição de liga de camadas epitaxiais
- uniformidade de camadas epitaxiais
- espessuras da camada epitaxial
- deformação e relaxamento da deformação,
- perfeição cristalina relacionada à densidade de deslocamento
Até mesmo a formação de interdifusão e intermistura de interfaces pode ser investigada sob determinadas circunstâncias.
Análise de dados
Para uma inspeção rápida, as posições do pico do substrato e das camadas podem ser usadas para a análise.
Contudo, no geral, as simulações de padrão completo com base na teoria de dispersão dinâmica são aplicadas para a determinação quantitativa de parâmetros relevantes.
