Plataformas da amostra adicionais
Meça uma variedade mais ampla de tamanhos de amostra em diferentes estágios do processo com plataformas de amostras adicionais projetadas para acomodar cristais menores ou maiores que a média.
Visão geral
O Omega/Theta XRD é seu parceiro confiável pronto para o futuro para determinação da orientação cristalina na paisagem de semicondutores mutáveis. Precisão líder de mercado, velocidade de medição extremamente rápida e qualidade de construção de ponta são combinadas com o poder da automação, garantindo que seus processos estejam prontos para qualquer coisa. Oferecendo eficiência e precisão incomparáveis para orientação e alinhamento de cristais, o Omega/Theta XRD é ideal para aplicações de produção e pesquisa.
Recursos e benefícios
Precisão ultrarrápida com tecnologia de leitura proprietária
Nosso método requer apenas um círculo de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, o que proporciona alta precisão a um tempo de medição muito baixo, no intervalo de alguns segundos.
Interface fácil para conectividade avançada e medições automatizadas
Todas as medições no Omega/Theta XRD são automatizadas e gerenciadas a partir do software XRD de fácil utilização. O instrumento pode ser facilmente integrado em processos existentes em ambientes de produção usando suas várias interfaces MES, SECS/GEM e similares.
Caracterizar uma variedade de materiais
O Omega/Theta XRD pode ser usado para caraterizar todos os materiais cristalinos únicos. Os materiais comumente usados são:
- Si
- Ge
- SiC
- AIN
- GaN
- GaAs
- Quartzo
- LiNbO3
- CdTe
- BBO
Manuseio de amostras prático e flexível
A nossa vasta gama de acessórios aumenta a produtividade do Omega/Theta XRD em uma ampla variedade de aplicações, desde a perfuração de sementes até à moagem, passando pelo corte até o controle final da geometria do wafer, mantendo-o flexível, mesmo que essas necessidades mudem ao longo do tempo. Os complementos incluem:
- Estágio automático de mapeamento X-Y para mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário
- Estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar
- Ferramenta de curva de oscilação para medição de qualidade
- Eixo de rotação adicional da amostra
- Câmera fotográfica e processamento de imagem
- Scanner a laser para medição da forma da amostra
- Equipamento de ajuste de amostras
- Existem muitas outras soluções de engenharia personalizadas!
Com suportes de amostras personalizados para atender a qualquer necessidade, desde grandes lingotes a pequenos cilindros, o Omega/Theta XRD pode acomodar uma grande variedade de tamanhos de amostra, garantindo que está igualmente em casa em um fluxo de trabalho de produção como na pesquisa.
Principais aplicações
-
- Produção
- O Omega/Theta XRD foi projetado para fabricantes. É ideal para a orientação e alinhamento ultrarrápidos de vários tipos de cristal na produção, para marcar direções no plano ou verificar a orientação de planos ou encaixes. Também é ideal para o controle de qualidade da produção, graças às suas altas velocidades de produção e capacidades de automação.
- Os extras opcionais, como um estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar e uma ferramenta de curva de oscilação para medições de qualidade, fazem do Omega/Theta XRD um parceiro versátil para aplicações de produção.
- Pesquisa de materiais
- A elevada precisão e flexibilidade do Omega/Theta XRD faz com que ele seja ideal para a pesquisa de materiais, uma vez que pode acomodar uma variedade de amostras de até 30 kg e 450 mm de comprimento, com estágios adicionais disponíveis para amostras maiores ou mais complexas.
- É capaz de caraterizar uma ampla variedade de materiais, tornando-o altamente valioso para os seus processos de P&D, e a Theta Scan flexível abre um mundo de possibilidades de medição.
Especificação
| Especificação técnica | |
|---|---|
| Fonte de raio X | Ampola de raios X padrão, ânodo de Cu |
| Detector | Contador de cintilação (simples ou duplo) |
| Suporte de amostra | Mesa giratória precisa, placa de montagem e ferramentas para ajuste de amostras |
| Colimador de cristal | Disponível |
| Mapeamento | Estágio de mapeamento de serviço pesado disponível |
| Software | XRDStudio |
| Refrigeração a água | Fluxo – 4l/min, pressão máx. de 8 bar, T ≤ 30 °C |
| Estação de trabalho do PC | Windows 7 ou mais recente, atualização do .NET Framework |
| Dimensões | A 1950 mm x P 820 mm x L 1200 mm |
| Peso | cerca de 650 kg |
| Requisito de energia | 208-240 V, 16 A monofásica, 50-60 Hz |
| Certificação | Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE |
Acessórios
Equipamento de ajuste de amostras
Manuseie facilmente seus vários tipos de amostras com ferramentas de ajuste de amostras dedicadas.
Estágio automático de mapeamento X-Y
Mapeie facilmente a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário usando um estágio de posicionamento X-Y adicional acima da mesa giratória. O estágio de mapeamento permite uma exploração abrangente de toda a superfície da amostra através de uma leitura personalizável da superfície.
Estágio de empilhamento
Alinhe com precisão os lingotes antes de serrar e melhore a utilização da ferramenta. O estágio de empilhamento eficiente alinha lingotes durante a leitura azimutal, antes de transferir a pilha completa para a serra de fio. Esse método de serragem paralela é altamente eficiente.
Ferramenta de curva de oscilação
Medições de controle de qualidade rápidas e precisas para processos de produção. A curva de oscilação, indicativa da qualidade da cela, pode ser avaliada rapidamente ponto a ponto ou em conjunto com uma ferramenta de mapeamento para um mapa de qualidade. A óptica é automatizada para alternar facilmente entre ligar e desligar.
Câmera fotográfica e processamento de imagem
A detecção plana e de encaixe é facilitada graças a uma câmara fotográfica de alta qualidade e a capacidades adicionais de processamento de imagem.
Scanner a laser para medição da forma da amostra
Um leitor a laser opcional possibilita a medição da forma precisa da amostra, oferecendo-lhe uma visão mais profunda dos seus materiais.
Suporte
Serviços de suporte
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Certificados de desempenho
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
- Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
- Automação e consultoria
- Treinamento e formação
