La difracción de rayos X de alta resolución es una poderosa herramienta para el análisis estructural no destructivo de capas epitaxiales, heterostructuras y sistemas de superredes.
Es una herramienta estándar utilizada en la producción industrial, así como durante la fase de desarrollo de estructuras de crecimiento epitaxial.
Patrones de datos de difracción
A partir de los patrones de difracción se puede obtener mucha información importante, incluida la siguiente:
- composición de aleación de capas epitaxiales
- uniformidad de las capas epitaxiales
- espesores de capa epitaxial
- deformación y relajación de deformaciones,
- perfección cristalina relacionada con la densidad de dislocación
Incluso se puede investigar la formación de interdifusión e intermezcla de interfaces en determinadas circunstancias.
Análisis de los datos
A fin de lograr una rápida inspección, se pueden utilizar para el análisis las posiciones pico del sustrato y las capas.
No obstante, en general se aplican simulaciones de patrón completo basadas en la teoría de dispersión dinámica para la determinación cuantitativa de parámetros relevantes.
