Dispositivo para mapeamento de wafer
Complemento opcional para explorar e mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície.
Visão geral
Orientação de cristal ultrarrápida e precisa (até (1/100)o na ponta dos seus dedos. O DDCOM adquire resultados confiáveis mais de 100 vezes mais rápido do que os métodos tradicionais, com economia de tempo adicional devido à geometria de medição de cima para baixo. Esse instrumento de elevada versatilidade utiliza uma ampola de raios X refrigerada a ar e um design portátil para garantir custos de funcionamento mais baixos e máxima praticidade, ideal para aplicações de controle de qualidade, marcação e pesquisa.
Recursos e benefícios
Precisão ultrarrápida
Nosso método de leitura proprietário requer apenas uma rotação de leitura para coletar todos os dados necessários para a determinação da orientação do cristal, fornecendo resultados precisos no intervalo de alguns segundos (rotação única).
A geometria do instrumento específica do material permite que a orientação da cela do cristal seja medida em relação ao eixo de rotação ultrarrápida com precisão aumentando com o número de rotações de leitura.
Formato compacto e fácil de usar
O design compacto do DDCOM permite que o sistema se encaixe em qualquer configuração. O software é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.
Controle preciso e eficiente
Mantenha o controle dos processos de corte, moagem e lapidação com alta precisão de até 1/100o. O DDCOM oferece orientação completa de cela de cristais únicos e é projetado para a configuração azimutal e marcação de orientação de cristal.
Os parâmetros de cristal pré-programados permitem a determinação de orientação desconhecida arbitrária de várias estruturas, além de auxiliar na refinação do fluxo de trabalho para uma maior eficiência. Vários acessórios de estágio permitem a metrologia em diferentes etapas do processo.
Versátil e econômico
O DDCOM está bem equipado para ambientes de pesquisa e produção em que uma variedade de tipos de amostra precisa ser analisada. Os custos operacionais são baixos para o DDCOM, graças ao seu baixo consumo de energia e à ampola de raios X refrigerada a ar. Não é necessário resfriamento a água.
O instrumento pode medir uma variedade de materiais diferentes com estruturas variáveis tornando-o uma adição versátil a qualquer laboratório. Alguns exemplos de materiais mensuráveis incluem:
- Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO3
Principais aplicações
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- Controle de orientação de cristal para corte, moagem e lapidação
- Devido à sua pequeno impacto, capacidades de automação e alta velocidade de medição, o DDCOM XRD oferece uma maneira prática e fácil de medir a orientação do cristal, permitindo o controle preciso e eficiente dos processos de corte, moagem e lapidação.
- Definição e marcação da orientação do cristal
- O DDCOM é equipado para a configuração azimutal e a marcação da orientação do cristal. A marcação do wafer depende da precisão excelente e da monitoração rápida, e o DDCOM fornece a velocidade e a precisão que seu processo necessita. Leve e portátil, é facilmente integrado na sua configuração existente ou como parte de um novo processo.
- Controle de qualidade
- A velocidade de medição e o tempo de produção são cruciais para o controle de qualidade da produção, mas para medições de rotina, também é importante manter os custos operacionais baixos. O DDCOM não é apenas eficiente em capacidade de processamento e produtividade devido à geometria de medição de cima para baixo, mas também no uso de energia, mantendo seus custos mais baixos e seus processos funcionando de forma ideal, sem comprometer a qualidade.
- Pesquisa de materiais
- Capaz de medir uma versátil variedade de tipos de cristal com um pequeno impacto no laboratório, o DDCOM é ideal para fluxos de trabalho de pesquisa padrão. Os custos de funcionamento são reduzidos graças ao consumo de energia minimizado e a uma ampola de raios X refrigerada a ar, sem necessidade de resfriamento a água. O DDCOM também é acessível e fácil de operar para uma variedade de níveis de experiência, tornando-se uma solução prática para laboratórios de pesquisa.
Especificação
| Especificação técnica | |
|---|---|
| Fonte de raio X | Ampola de raios X refrigerada a ar de 30 W, ânodo de Cu |
| Detectores | Dois contadores de cintilação |
| Suporte de amostra | Mesa giratória precisa, precisão de ajuste de 0,01°, ferramentas para posicionamento e marcação de amostras definidas |
| Especificação física | |
| Dimensões | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| Peso | 80 kg |
| Fonte de alimentação | 100-230 V, 500 W, monofásica |
| Temperatura ambiente | ≤ 30 °C |
| Opções de configuração | |
| Dispositivo para mapeamento de wafers (diâmetro máximo 225 mm) | |
| Dispositivo para carregamento automático a partir de cassetes | |
| Exemplos de materiais mensuráveis | |
| Orientação cúbica/arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
| Orientação cúbica/especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
| Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
| Hexagonal/Trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
| Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO3 | |
| Materiais adicionais de acordo com as demandas dos clientes | |
Acessórios
Carregamento automático a partir do cassete
Uma ferramenta extra para permitir o carregamento automático de amostras a partir de um cassete, melhorando o tempo de produção e a eficiência do fluxo de trabalho.
Suporte
Serviços de suporte
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Certificados de desempenho
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
- Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
- Automação e consultoria
- Treinamento e formação
